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机译:压电传感器在结构力学中的应用:一些新策略
Hans Irschik; Michael Krommer; Yury Vetyukov;
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机译:微型机械组件压力传感器,具有在硅基板上提供二氧化硅层的膜,以及集成在二氧化硅和氮化硅层之间的压电或压阻导电条
机译:微电机致动器装置的压电式和集成微电机致动器装置的装置
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